精密手動(dòng)位移平臺由實(shí)驗可知,pzt所受預緊力(f)越大,工作臺剛度(δi)越高,關(guān)系曲線(xiàn)如圖8所示。由有限元分析可得,隨著(zhù)f的增加,固有頻率逐漸增大。在給微動(dòng)臺x向施加10μm的位移載荷時(shí),固有頻率從737 hz增加到1 973 hz,即f對微動(dòng)臺的固有頻率起著(zhù)決定性的影響。通過(guò)實(shí)驗和有限元分析可知,微動(dòng)臺的固有頻率和δi隨著(zhù)f的增加而增大。
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