手動(dòng)位移平臺技術(shù)匯總
微位移技術(shù)在精密測試中具有非常重要的作用。本文介紹了一種基于應變方式進(jìn)行二維微/
納米級位移測量的二維微位移平臺測量系統, 它能夠應用到多種精密測試的場(chǎng)合中, 結構簡(jiǎn)潔, 操作方便, 具有體積小、集成度高、精確度高的優(yōu)點(diǎn)。在后續的研究中, 我們將對其進(jìn)一步改進(jìn), 使其成為更經(jīng)濟實(shí)用的二維微位移測量裝置。
手動(dòng)位移平臺實(shí)驗驗證
采用高精度的標定裝置對二維微位移平臺測量系統進(jìn)行實(shí)驗。對x、y
方向分別進(jìn)行全量程測量,通過(guò)上位機可以看到實(shí)驗的結果。實(shí)驗表明, 采樣數據穩定性好, adc 的實(shí)際有效分辨率可高達16位, 完全滿(mǎn)足分辨率為1/ 5 000
fs~ 1/ 10 000 fs 的要求。
手動(dòng)位移平臺參數設置
可選擇的參數有濾波器型號、時(shí)鐘aclk、抽樣值、模擬開(kāi)關(guān)延時(shí)、拋棄采樣周期數、放大倍數、以及是否用緩沖等。這些設
置主要通過(guò)控制寄存器a dmu x、aclk、adcon0 ~adcon 2 進(jìn)行。其中, adc 的參數的選擇問(wèn)題將會(huì )直接影響它的分辨率,
用戶(hù)可根據實(shí)際的需要選擇adc 的初始化信息, 直到滿(mǎn)意為止。通過(guò)上位機與處理電路進(jìn)行通訊,
可對處理電路輸出的數字信號進(jìn)行實(shí)時(shí)的采樣和處理。
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